硅片邊沿曝出設備氣動隔振系統的特性

硅片邊沿曝出設備氣動隔振系統的特性
 

硅片邊沿曝出設備氣動隔振系統作為工業生產中的一種重要減振器，其主要的功效在于控制生產過程中各部構件配合產生的噪音以及異常震動，能顯著提升設備使用壽命、使用者的體驗性和生產過程的穩定性。目前，氣動隔振系統及主動減振系統已經成為了工業活動重要部件。

 

主要區別就在于其工程控制對象的差異。硅片邊沿曝出設備氣動隔振系統的工作原理是控制振動源，促使振動源不能將震動傳導到其他工業設備中，起到減震減振的功效。而主動減振系統的工作原理是保護受震動部件，促使受保護部件不會受到外來的振動源的影響。可是，主動減振系統不會像氣動隔振系統那樣控制振動源的影響。因此，如果振動源能夠影響多個部件，則氣動隔振系統更加適合該工業生產過程。

2個重要特性就是其設計方案的精密性和組裝步驟的便利性。一般能夠被廣泛運用在不同設備上，具有良好的適應性。一些使用了高純度石墨復合型橡膠的密封件的氣動隔振系統，能夠當出現氣體泄漏以后持續工作一段時間，該特點提升了在維修方面的開放式。
 

綜上，氣動隔振系統在工業設備中具有廣泛應用性，根據減振目標、彈簧材料和工藝的差異，其性價比也就不同，需要在市場中與同類產品進行充分比較，才能選出能滿足需求的產品。