光學平臺空氣彈簧隔振器理論力學

光學平臺空氣彈簧隔振器理論力學

光學平臺空氣彈簧隔振器具有測量、生產制造技術、材料和集成電路技術、電子器件技術、，氣體彈簧隔振器的應用越來越普遍。比如，承載全部暴露組件的光刻技術可測量框架的震動減少。危及減震特征的一個標準是減震設備的共振頻率和阻尼系數。在阻尼作用下，共同地震區的減震效果非常明顯，而共同地震區之外的狀況恰好相反。因此，為了確保其他阻尼系統軟件的阻尼特性，有必要結合實際情況設定系統軟件阻尼。目前，典型的彈簧減震器選用固定節流閥填料和氣體節流閥減震。該產品減震調節結構復雜，難以保證。此外，在多個阻尼控制桿的操作過程中，難以保證每組軸向預埋孔規格一致。

一種根據汽缸調整氣固兩相流減震藕合功效的光學平臺空氣彈簧隔振器，其理論力學數字模型。彈簧減震器在外管中設有連接管，彈簧風道總成在內管上方兩邊，外管通過上沖頭的密封與空氣彈簧風道的下部連接。內缸按固定位置與上環狀蓋板和彈簧氣室密封連接。進氣口和排氣口設定在外缸的外內壁上，一組環狀布置的噴頭設定在外缸的內側，在外缸下方具有密封性。配備環狀底板，液壓桿通過環狀蓋板裝進內缸腔內，傾斜鍍鋅鋼絲繩的頂端固定于環狀蓋板上，傾斜鍍鋅鋼絲繩的底部固定于頭部下方。液壓桿和傾斜鍍鋅鋼絲繩組成單擺構造。固定負荷板固定于液壓桿上方。內缸底部配有鋼彈簧。軟性門鉸鏈的下部組裝在活塞桿上方，軟性門鉸鏈的頂部組裝在液壓桿下方。